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小型光电设备中MEMS速率陀螺仪随机误差抑制技术研究
【摘 要】
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转台是小型光电设备中不可或缺的部分,而用于测速的陀螺仪是转台设备的主要器件之一,本课题打算利用微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System MEMS)陀螺仪进行测量,但MEMS陀螺仪的精度相对偏低,这限制了光电设备的整体测量精度。有鉴于此,本课题打算研究MEMS陀螺仪随机误差抑制技术,以提高MEMS陀螺精度,具体论述如下:首先,为了分析和抑制MEMS陀螺噪声,基于现有
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所)
【发表日期】
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2021年01期
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