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微小零部件(如MEMS中的微小部件)间的摩擦介于宏观与微观之间,其量级在微牛级至毫牛级范围内。由于尺寸效应和表面效应,微小零部件间的摩擦成为影响其性能和可靠性的关键。现有的摩擦测试手段与微小零部件实际工况相差很大,本文设计了微小摩擦磨损测试系统,实现对微小零部件之间的摩擦磨损测试。该系统主要功能为：法向正压力载荷加载、法向正压力载荷测量和横向摩擦力测量。主要包括进给系统、转动系统、测试传感系统和数据处理系统四大部分。利用CATIA软件对整体结构进行三维造型建模,测试传感系统与数据处理系统基于光反射法