【摘 要】
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一体化微型热偶真空计具有测量准确、稳定性高、能连续测量和使用寿命长等特点。随着科学技术的快速发展，航空航天、微电子、核工业等尖端技术领域对粗低真空测量提出了更高的
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一体化微型热偶真空计具有测量准确、稳定性高、能连续测量和使用寿命长等特点。随着科学技术的快速发展，航空航天、微电子、核工业等尖端技术领域对粗低真空测量提出了更高的要求。一方面要求测量准确，避免环境对测量结果的影响，另一方面要求真空测试设备携带方便、测试快捷。因此研制适用于特殊现场环境和条件下的便携式、一体化微型热偶真空计具有重要意义。本文基于热偶规真空测量的基本原理，采用数字信号处理技术，对热偶真空计进行了测量范围扩展的研究和减小体积的小型化设计，最终研制了可适应复杂现场环境、体积小、重量轻、便于携带的一体化微型热偶真空计。实测结果表明，该一体化微型热偶真空计的真空测试范围可达到0.01Pa～1000Pa的粗低真空测量范围，最大功率小于10W，工作电源为AC220V±10%/50Hz，工作环境温度可达0～45℃，外形尺寸为100mm×60mm×45mm，重量不到1.5kg。
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