大尺寸蓝宝石泡生单晶炉温场模拟研究

来源 :深圳大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wxwp_hawk
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
由于蓝宝石晶体良好的光学特性、稳定的化学结构和较强的机械强度,使其广泛应用于卫星空间技术、红外军事装置、高强度激光的窗口等军事领域;因其晶格常数与GaN接近,生长工艺成熟,使蓝宝石单晶广泛应用于SOS微电子电路、LED灯珠等衬底行业;因其硬度高、介电常数符合电容屏要求,使蓝宝石单晶应用于可穿戴设备窗口领域;又因其原子能级跃迁的特殊性质,使掺钛蓝宝石单晶应用于高功率激光器增益介质。随着这些行业的快速发展,蓝宝石的需求量日益增加,生长大尺寸、高质量蓝宝石单晶变得尤为迫切。因此,大尺寸蓝宝石泡生单晶炉温场的研究具有重大的应用价值。本论文利用CGSim模拟软件,并结合实际长晶实验的结果,探究了单晶炉温场老化的原因。利用金相显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和干涉仪测试老化单晶炉钼屏的成分、微结构和反射率,结果表明单晶炉上、中、下层钼屏老化的机理明显不同:上部钼屏老化的机理是由于钼屏长期工作在低温区而被Al、O、Mo、W等挥发物附着,形成凸凹不平、大小不一的黑色附着物,吸附在钼屏表面的黑色挥发物改变了钼屏的反射率,降低了其保温效果;中部钼屏因工作区域温度没有达到其最高工作温度,表面形貌变化不大,反射率也没有太多变化;下层钼屏由于长期工作在高温区而造成钼元素挥发,在其表面形成了许多方向混乱、大小不一的微镜面,因微镜面的散射而降低钼屏的保温效果。将测得老化温场钼屏各部分反射率的结果导入计算机,模拟计算发现,由于钼屏保温效果改变,其温场温度梯度、固液面、熔体液流也发生了改变。通过实验长晶,晶体品质检测,发现与原温场对比晶体品质出现严重下降。利用蓝宝石单晶模拟软件CGSim,研究了氧化锆、氧化铝和金属组合温场的性能。首次提出了下部由钼屏与锆石结合、侧部由钼屏与氧化铝结合的保温系统。模拟结果显示:在保持侧屏厚度不变的情况下,将等厚度的钼屏更替为氧化铝后,温场的保温效果反而变差;在保证内部钼屏层数不变的情况下,不断增加锆石或氧化铝厚度,温场保温效果明显增强,功耗下降。但增加到一定厚度后,功耗下降趋缓。通过模拟相同温场构造、不同坩埚尺寸的单晶炉温场,探究120kg、200kg和300kg级的温场性能,结果显示:随着坩埚尺寸的增大,温场的保温效果变差、功耗增加;生长角变大、应力变大并出现应力富集现象;温度梯度减小;熔体液流保持不变。设计大尺寸单晶炉时,增强侧保温和下保温效果,扩大引晶与晶体交界面,防止应力富集现象出现。
其他文献
<正> 班固是一位在历史上很有成就的史学家和文学家,但学术界长期以来的扬马抑班的倾向,使班固的研究一直很受冷落,而且存在着一些很不公正的评价。本文仅从汉儒哲学思想体系
<正> 我们中国艺术团在欧洲大陆的旅行演出,已经五个多月了。我们从巴黎开始,经过比利时、荷兰、捷克斯洛伐克、瑞士、意大利等国的十八个城市,虽然连日的演出和旅行相当紧张
目的探讨鼻内镜下即时修复鼻中隔术中黏骨膜破损的方法及预防措施。方法 2008年-2010年在我院就诊的14例鼻中隔偏曲及部分合并鼻窦炎、鼻息肉的病人,行鼻内镜下鼻中隔矫正术,
在汽车线束加工过程中,原有的手工操作式的端子压接机如:传统压接机已经不能满足现代汽车线束加工的需要,需要设计汽车线束自动化端子压接机,采用传感器技术和数字化技术,实
近年来,在相关政策的大力扶植与引导下,现实题材电视剧创作呈现出强势回归之势。关注改革时代、关注普通人精神、情感、命运,阐释中国精神、中国价值与中国力量的现实题材作
通过对案例的研究,可以"见微知著",迁移和延展到对其他相关内容的学习。在实施案例教学时,教师要注意案例要具有真实性原则、典型性原则和应用性原则。
21世纪以来,随着中国城镇化步伐加快,房地产行业开始了蓬勃地发展。通过十几年的发展,房地产已经成为国民经济的支柱行业,对国家经济影响巨大。为维护国民经济的稳定,确保房
近代日本是一个侵略成性的军事封建帝国主义国家,为了兼并朝鲜,独占中国,鯨吞亚州,日本帝国主义曾经炮制了许多为其侵略扩张行径辩护的谬论,诸如所谓“脱亚论”、“兴亚论”
互联网快速发展极大提高了这个时代的前进速度,也延伸了人们的活动空间,改变着人类的生活。虚拟品牌社区是使用相同品牌的消费者在互联网这个平台上的集聚而形成的社群,网络
<正> 《金瓶梅》是我国小说发展史上第一部以家庭日常生活为题材的长篇小说.它既没有扣人心弦的传奇式的故事情节,也没有令人陶醉的诗情画意的艺术描写,而尽是些“市井之常谈