【摘 要】
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钙钛矿结构的锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3, PZT]压电薄膜因其优越的压电性能、介电性能、铁电性能以及易与半导体技术兼容等特点，被广泛应用于压电传感器、铁电存储器、超声换能
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钙钛矿结构的锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3, PZT]压电薄膜因其优越的压电性能、介电性能、铁电性能以及易与半导体技术兼容等特点，被广泛应用于压电传感器、铁电存储器、超声换能器等。基于PZT膜的器件具有高频率带宽、响应速度快和灵敏度高等优点，PZT薄膜的制备、结构、性能及其应用已成为国际上新材料研究的热点。 本文在综述了 PZT压电薄膜的制备和应用的基础上，采用溶胶-凝胶(sol-gel)法和快速热处理(RTA)技术先在(111)Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备镍酸镧(LaNiO3, LNO)缓冲层，再在LNO缓冲层上制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜，对PZT溶胶和薄膜进行了TEM、FTIR、粘度、差热-热重、XRD、SEM一系列表征分析，研究了LNO缓冲层以及不同退火温度对PZT薄膜的生长取向和结晶质量的影响。研究结果表明，溶胶的粒径在50 nm以内，650℃为最佳退火温度，此时的PZT薄膜是纯钙钛矿相，有LNO缓冲层的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜具有(100)、(110)、(200)择优取向，平均晶粒尺寸约35.5 nm，结晶度为83.19％，薄膜表面平整、致密，厚度约2μm，呈现柱状生长。 血红蛋白(Hb)是人体血液中一个非常重要的生理指标，特别是对于运动员身体活动能力的评价以及贫血的检查，因此血红蛋白的测定具有重要的临床意义。本文基于血红蛋白与苦味酸在一定条件下发生沉淀反应以及石英晶体微天平(QCM)对其表面质量变化的高灵敏性，首次提出了一种新的血红蛋白(Hemoglobin, Hb)检测方法。沉积在石英晶体微天平表面的沉淀质量引起振荡频率的改变，据此原理实现对Hb的测定。通过优化实验条件，对Hb的检测范围为2.48~24.8μmol/L，检测时间为20 min，相关系数R2为0.9946，检出限为1.185μmol/L，平行测定5次(C=6.2μmol/L)的相对标准偏差(RSD)为2.4%。该方法具有成本低、原理简单、操作方便、灵敏度高、可实时在线等优点。
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