【摘 要】
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光干涉检测技术是光学元件高精度加工检测过程中的必要环节,对于光学元件质量判定起到终检决定性作用。商用干涉仪中大多数采用相干性好的激光作为光源以此获得较大的相干长度。这种选择大大降低了干涉检测过程中的装调难度。然而,不利因素是光学系统中的杂散光以及光学元件表面高频误差、瑕疵、灰尘等造成的散射光将造成像面中存在相干噪声,使得干涉系统的信噪比下降。常用的解决方法是对入射光源的相干性进行调制,以降低其相干
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光干涉检测技术是光学元件高精度加工检测过程中的必要环节,对于光学元件质量判定起到终检决定性作用。商用干涉仪中大多数采用相干性好的激光作为光源以此获得较大的相干长度。这种选择大大降低了干涉检测过程中的装调难度。然而,不利因素是光学系统中的杂散光以及光学元件表面高频误差、瑕疵、灰尘等造成的散射光将造成像面中存在相干噪声,使得干涉系统的信噪比下降。常用的解决方法是对入射光源的相干性进行调制,以降低其相干性,进而抑制相干噪声和提高信噪比。本论文中采用了能够实时控制的动态光学元件,开展了干涉成像系统中空间光调
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