近年来,为了抑制MEMS（Micro-Electro-Mechanical System,微机械系统）传感系统中的温度效应,温度控制与温度补偿等技术得到广泛运用,这对系统中温度传感器的分辨率与集成性等提出了较高的要求。常规的热敏电阻式、铂电阻式等温度传感器依然存在测温分辨率较低、集成性差等问题。因此,本文提出了一种谐振式MEMS温度传感器,并基于参数调制法传递谐振器模态之间的温度灵敏度,提高测温分辨率。本文针对高分辨率的测温需求,首先对谐振式MEMS温度传感器的测温原理进行分析,从温度灵敏度角度调研了国内外谐振式温度传感器的研究现状。通过欧拉-伯努利方程,分析了谐振器的本征频率及灵敏度。然后设计了一种基于软限幅器的前端电路结构,结合谐振器的BVD（Butterworth Van-Dyke,巴特沃思-范戴克）模型,确定了一组可实现闭环振荡功能的设计及电路参数。为了进一步提高谐振器的温度分辨率,本文提出了基于参数调制法的温度灵敏度提升方案:即通过参数泵浦源动态地调制谐振器的等效刚度,在谐振器的一阶基础模态I与二阶基础模态II间建立虚拟耦合,使基础模态间的机械能互换,从而实现灵敏度的提升。建立谐振器在线性区内的动态力学方程后,推导了谐振器在基础模态I与II附近的动态方程,并在MATLAB中进行数值仿真。仿真结果表明,当泵浦频率约为模态II与I的频率差时,基础模态I产生的边带与模态II发生调制,并分别在基础模态周围产生泵浦模态。在不同泵浦扰动频率下,传感器的泵浦模态具有不同温度灵敏度。最后,实验采用C-C梁（Clamped-Clamped beam,双端固支梁）作为谐振器,验证了泵浦模型的频率响应、开环与闭环灵敏度特性,并对比了转向区与非转向区内基础模态与泵浦模态的温度分辨率。实验结果表明,参数调制后谐振式MEMS温度传感器的灵敏度提升126%,温度本底噪声达20（?）K/Hz1/2@2～5 Hz,比基础模态I提升了40%。更重要的是,这种简单的灵敏度调节技术可作为共性技术,广泛运用于提升或抑制谐振式传感器的灵敏度,还可拓展至更高阶模态之间的机械能互换。