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随着科学的发展,在许多应用领域如半导体光刻、IC电路制造与封装、生物医疗等对精密定位技术提出了更高的要求,需要其同时具备大行程、高精度、响应快等特点。而大行程与高精度始终是一对矛盾,协调好两者之间的关系至关重要,在实际中往往是牺牲一方面而现实另一方面的高性能。目前,实现大行程运动的同时达到精密定位已成为当今前沿科学急需解决的前提条件和关键技术之一。为了较好的协调和解决两者之间的矛盾,本文从宏微结合的概念出发,通过对宏微结合的精密定位平台的体系结构、微米级宏动定位与亚微米级微动定位的实现方法,