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多孔质节流气体静压电主轴以其高速、高精度、高承载以及清洁无污染等优点,在超精密制造领域备受青睐。本文从气体静压轴承的静态特性、电主轴的结构优化设计分析、关键零件制造工艺以及电主轴性能测试等方面对气体静压电主轴的关键技术进行了深入研究,主要内容包括:采用基于有限体积法的Fluent软件对多孔质气体静压径向轴承和止推轴承的静态特性进行了建模分析,研究了动压效应、节流方式、供气压力、轴承尺寸等因素对气体静压轴承特性的影响。采用Fluent软件建模对比分析了球形与圆柱形轴承的承载力及刚度;采用Solidwo