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基于空间光调制的微柱及螺旋结构高效加工技术研究
【摘 要】
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飞秒激光双光子聚合具有高分辨率、任意三维成型以及可加工材料多样等独特的优势,已经被广泛应用于各种三维微结构的制备,包括微机械器件、超材料、微型机器人、微光学元件等。然而,传统的双光子聚合采用分层逐点扫描的加工方式,该方式具有工艺单一,效率低下等缺点,限制了双光子聚合加工进一步应用于大面积、大体积结构的批量加工。因此,提升双光子聚合的加工效率对于拓展应用范围具有重要的科研价值与应用价值。空间光调制器
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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2021年08期
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