【摘 要】
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该文应用离子束辅助沉积(IBAD)方法制备类石墨碳膜,并对其组织、结构及性能进行分析研究.主要研究包括:应用AFM观察形貌;应用卢瑟福背散射(RBS)、XPS、四点探针法、X射线衍射
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该文应用离子束辅助沉积(IBAD)方法制备类石墨碳膜,并对其组织、结构及性能进行分析研究.主要研究包括:应用AFM观察形貌;应用卢瑟福背散射(RBS)、XPS、四点探针法、X射线衍射测定分析其化学成分、键的结构、电阻率及结构形态;测定碳膜力学性能及摩擦学性能.结果表明:XPS和电阻率的结果表明这类碳膜的碳键结构以sp<2>为主;XRD及TEM表明碳膜为非晶.Cr降低碳膜的硬度及摩擦系数,Ti提高硬度;但过量的Cr和Ti不改善碳膜的性能.类石墨碳膜的摩擦系数小,硬度较高,与CrN-Cu镀层相比其比磨损率低,其摩擦系数随载荷增加而降低,磨屑降低摩擦系数.类石墨碳膜是理想的耐磨镀层.
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