随着微纳米科学与技术的发展,以形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械加工成为世界各国高度重视的微观领域内的高新技术。微细电火花加工技术作为微细加工领域的重要组成部分,在航天航空、精密仪器、医疗器械、纺织印刷和汽车等工业领域有着重要应用价值。本论文从RC和晶体管式两种微细电火花脉冲电源的放电特点与极间击穿特征基础分析入手,采用PWM技术实现直流电源开路电压0~120V可调,利用PIC单片机和复杂可编程逻辑器件(CPLD)为核心的控制器产生一系列具有可变时序逻辑的脉冲信号驱动高速开关器件的原理设计了一种集RC、晶体管、可控RC和高频分组脉冲发生器于一体,能实现高频微能脉冲放电的多功能微细电火花脉冲电源。结合间隙平均电压、间隙平均脉宽和数字平均脉宽多种检测方法的优势,提出一种电路结构简单,不受占空比重设影响,以及放电状态脉宽电压跟随性好的晶体管式柔性脉宽电压检测策略。微细电火花脉冲电源参数在线设置和放电状态实时反馈功能的软件系统由Visual C++上位机控制界面程序,PIC单片机串行通信模块、定时器中断模块、可调开路电压闭环控制程序、CPLD高频脉冲发生器程序以及Scenix单片机A/D转换高速采样与统计分析程序构成。利用本文研制的多功能微细电火花脉冲电源进行了相关实验,实验结果表明:柔性脉宽电压检测策略比传统间隙平均电压检测法更精准并具有很好的适应性,RC脉冲电源比晶体管脉冲电源放电能量低,加工间隙小,更适合要求表面质量好、加工精度高的微细电火花加工。