全光亮酸性镀铜工艺研究

被引量 : 0次 | 上传用户:mydearsun
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
铜镀层具有优良的延展性,导热、导电良好,被广泛地应用,如塑料电镀、半导体连接工艺以及电子行业等,主要是作为中间镀层或底层,目的是提高镀层之间的结合力,减少贵金属的用量等,在生产实践中具有重要意义。全光亮酸性镀铜镀层平整、光亮,效果好,镀液维护和废水处理容易,不污染环境,因此,被越来越多地应用。目前,国内酸性光亮镀铜添加剂存在的问题主要是:(1)出光速度慢;(2)整平效果不理想,(3)低电流密度区域走位性能差。其中,最大的问题是低电流密度区走位性能差。本研究的目的是开发一种新的全光亮酸性镀铜工艺,尤其是寻找一种性能优异的整平剂和低电流密度区走位剂,力争解决上述三个问题。实验在认真、细致地进行了除油、活化等镀前处理后,往含有硫酸铜、硫酸、氯离子的基础液中加入各种自选添加剂,进行赫尔槽实验。经过不断调试,开发出了一种新的全光亮酸性镀铜工艺,尤其是发现了一种性能优异的低电流密度区走位剂,并确定了本配方的工艺参数和工作条件,一定程度上改善了上述三个问题。本工艺的配方及操作条件如下:硫酸铜(CuSO4·5H2O) 190g/L~220g/L硫酸(H2SO4) 57.4g/L~72.4g/L氯离子(Cl-) 0.058g/L~0.067g/L噻唑啉基二硫代丙烷磺酸钠(SH110) 0.009g/L~0.013g/L酸铜强整平剂(POSS) 0.018ml/L~0.023ml/L醇硫基丙烷磺酸钠(HP) 0.019g/L~0.024g/L聚乙烯亚胺烷基盐(PN) 0.027ml/L~0.032ml/L聚乙烯亚胺烷基化合物(GISS) 0.0043ml/L~0.0057ml/L琥珀酸酯钠盐(MT-200) 0.18ml/L~0.24ml/L聚乙二醇6000(P) 0.045g/L~0.055g/L自选J型添加剂0.0012g/L~0.0017g/L电流密度1.8A/dm2~3.8A/dm2温度12℃~36℃阳极材料含磷0.04%通过极化曲线、电镜扫描以及其它方法对镀液性能和镀层性能进行检测,证明本工艺具有较好的镀铜效果,具有一定应用前景和市场潜力,目前,已在工厂开始小试。镀液的管理和维护在电镀中也是一个很重要的环节,本文最后对使用本工艺电镀时常见的一些故障做了分析,并提出了相关的处理方法,希望能对本行业起到一定的参考作用。
其他文献
C4超声清洗槽中的驻波声场及其消除方法张镜澄(中国科学院东海研究站上海·200032)通常使用的超声清洗设备多采用单频工作,单频工作会在清洗槽中形成驻波场,在声压波节附近,声压低于空地阈
<正>未来学家尼葛罗·庞帝忠告人们:"每一种技术或科学的馈赠都有其黑暗面,数字化生存也不例外。"Web2.0是以人为中心,而不是以物(或内容)为中心,它又是个人表达、个人倾诉的
期刊
云南省科学技术厅政策法规处党支部从思想教育、理论学习,注意创新实践、重视作风培养等方面,狠抓自身建设,成效较为明显,被评为先进基层党组织。
<正>虽然她的名字听起来十分霸气,然而此时,她静静地蛰伏在无边的黑暗里,所能做的,唯有等待。不似那些草根姐妹,一到属于她们的季节,就挡也挡不住地漫山遍野地发芽、长叶,开
期刊
学校的实际课程由显性课程和隐性课程两部分构成,外语课堂教学也有丰富的隐性课程因素。开发和利用外语课堂教学中的隐性课程的主要途径包括建立良好的教学环境、人际关系和
探明靖边油田青阳岔区域延长组长2油层剩余油的储量及其分布,并制定合理方案对其进行充分开采,是未来较长阶段油田增产的首要目标。本文在前人研究的基础上,通过油藏数值模拟
语音意识(phonological awareness)一直是西方心理语言学,教育心理学论一个研究热点。它是元语言意识论一个组成部分。许多西方心理学家已达成一个共识:语音意识对英语词汇拼
半导体端面泵浦全固态激光器(DPSSL)具有效率高、光束质量好、结构紧凑等优点,已成为当今激光器领域研究的热点。调Q技术是获得脉冲激光输出的关键技术,并广泛应用于微机械加工
<正> 前些日子,信手翻开国内某英文杂志.看到一篇英汉对照的短篇小说“A Letter in thewallet”,其中有一段英文如下:It was a“Dear John”letter.The writer,in adelicate