冶金法制备太阳能多晶硅过程中,非金属杂质B是工业硅中最难去除的元素之一。本文采用熔渣精炼联合吹气精炼方法研究除硼的最佳实验条件,并通过理论计算验证实验结果。向工业硅熔体中采用造渣（CaO-CaCl₂）联合吹气（Ar-H₂O（g）-O₂）精炼,使部分Si氧化生成Si O₂后再与Ca O结合生成硅酸盐渣相,实现造渣-吹气联合精炼深度除硼的目的。实验得出,当Ca O:Ca Cl₂质量比为4、渣硅质量比为1、Ar:H₂O:O₂混合气体流量比为55:30:15,在1823K条件下精炼3h后,工业硅中杂质硼含量可由22 ppmw降低至2.1 ppmw。进一步酸洗后,硼的去除率可达到94.5%。向二元熔渣Ca O-Ca Cl₂中添加Si O₂构成三元渣系再结合吹气精炼除硼。单独的熔渣精炼,精炼硅中杂质硼降低至1.37 ppmw;酸洗后能进一步降低至0.81ppmw;当熔渣精炼联合吹气精炼后,精炼硅中的硼可降低至0.71 ppmw。研究了工业硅吹气精炼除杂的方法。实验得出,吹Ar-O₂混合气体精炼的除杂效果弱于吹Ar-O₂-H₂O（g）混合气体精炼。吹Ar-O₂混合气体精炼Al、Ca的去除率均有82%⁸5%,Ti的去除率为44%⁴8%,非金属杂质B、P分别达到33%以上以及20%左右;杂质Fe、Cu没有去处效果;吹Ar-O₂-H₂O（g）混合气体精炼时,Al、Ca、Ti的去除率分别为85%、85%⁸9%、50%,非金属杂质B、P分别达到50%以上以及40%⁴5%,杂质Fe、Cu同样没有去处效果。通过对Si（111）-B界面分别吸附OH^-、O^2-和Cl^-研究各粒子对杂质B去除反应的动力学模拟,模拟结果证明杂质B能够生成HBO、BOCl气体去除。