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太阳能因具有取之不尽用之不竭、清洁无污染等优点,发展前景十分广阔。在有效利用太阳能方面,太阳能电池是近年来最具活力、发展最快的研究领域之一,受到各国高度重视。太阳能电池的开发应用已逐步走向产业化和商业化,在人们的生产、生活中占据日益重要的地位。氢化非晶碳化硅(a-SiC:H)薄膜具有较宽的光学带隙,是pin型非晶硅薄膜太阳能电池较为理想的窗口材料。氢化非晶碳(a-C:H)薄膜具有红外区域透过率高、硬度高、耐摩擦、热膨胀系数小等优点,可作为太阳能电池的保护膜和抗红外反射膜。本文采用