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该论文的主要工作是微电子电测参数异常的计算机辅助分析.针对工艺流水后的PCM测试数据,完成了一个集成电路工艺故障的诊断系统,此外还附加开发了一个SPC控制模块,该统计工序控制模块利用平均值--均方差控制图实现了简单的工序控制功能.
微电子电测参数异常的计算机辅助分析
【摘 要】
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该论文的主要工作是微电子电测参数异常的计算机辅助分析.针对工艺流水后的PCM测试数据,完成了一个集成电路工艺故障的诊断系统,此外还附加开发了一个SPC控制模块,该统计工序
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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2000年期
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