有机聚合物光子射频2路高精度移相器关键技术研究

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本论文以3dB带宽为12GHz的有机聚合物光子射频2路高精度移相器的理论设计和工艺实验为目标,以计算机仿真和具体实验相结合,对有机聚合物光子射频2路高精度移相器的光波导和电极系统进行了仿真、优化和设计,并进行了一系列的实验性研究。本论文确立了所设计移相器采用的原理,并对有机聚合物光子射频2路高精度移相器进行了原理推导和移相性能仿真分析,确立了其设计方案及原则,包括有机聚合物材料的选择、光波导的设计、电极系统的性能指标、电极结构的分析与方案选择。本论文基于有效折射率法编写了计算光波导有效折射率的程序,结合单模条件确定了满足有机聚合物光子射频2路高精度移相器要求的脊型单模波导的结构参数。通过采用基于有限差分束传播法的BEAMPROP软件分析了两种Y分支波导结构,提出采用余弦弯曲Y分支波导对有机聚合物光子射频2路高精度移相器的光波导结构进行优化设计,并分析了波导间距对于波导传输损耗的影响。最后通过BEAMPROP软件设计了有机聚合物光子射频2路高精度移相器的光波导结构。本论文通过仿真分析了电极各个参数对于电极特征阻抗、电极损耗的影响及频率对电极损耗、特性阻抗的影响,得到了满足电极特征阻抗为50?的电极各个参数所满足的关系,并结合ADS软件计算出了满足电极特性阻抗为50?的电极参数。之后,通过HFSS软件建立了有机聚合物光子射频2路高精度移相器的电极系统模型,并通过一系列的仿真综合分析得到了3dB带宽为12GHz,回波损耗S11、插入损耗S21、电压驻波比ρ都满足要求的电极系统。本论文进行了一系列的实验性研究。首先,利用实验室的条件进行了光波导制作工艺的研究,制作出了三单元M-Z调制器的波导。其次,搭建了有机聚合物薄膜平行板电极极化系统,并对两种制作出的有机聚合物薄膜(25%IPC-E+ Polysulfone和25%DDR19+PMMA)样品进行极化实验。最后,搭建了测量有机聚合物薄膜电光系数的系统,测量了经过极化的有机聚合物薄膜(25%IPC-E+ Polysulfone和25%DDR19+PMMA)样品。这些实验性研究为今后器件的制作创造了条件。
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