在科学研究和工程开发中，为获得对象真实准确的描述而进行的测量是人们认识和改造自然的基础。但由于采集设备、环境、人为等因素的影响使得测量数据存在偏离真实值的噪声数据，它会在很大程度上影响分析结果的准确性。因此测量数据的误差分析已经成为评价测量结果质量的重要指标，如何采用算法对测量数据进行预处理，从而在源头上降低测量误差，这在精密测量工程中显得尤为重要。首先，在对圆柱度测量数据进行比较和分析的基础上，发现圆柱度的测量噪声是不属于任何一种聚类的数据噪声，其所属区域不在一个高密度区域内。为了保证聚类质量，本文应用自适应密度聚类算法剔除圆柱度测量过程中引入的噪声数据。仿真实验证明测量数据应用自适应密度算法去噪后，能够进行精准的圆柱度误差评定。其次，在高精度天线阵面测量中，存在两个问题需要解决。第一、在天线阵面上设立刚性靶杆，通过测量靶杆上的靶球来得到阵面上的变形，而靶球处引起的测量误差到阵面上就会被放大；第二、重力作用引起的阵面变形是一个缓变的过程，而测量误差会引起阵面变形的突变。为了使测量数据更好的反映真实的阵面姿态，本文应用加权K近邻算法精确求取阵面上的点并对阵面上的点进行分类处理，以平缓变化的一类点为不动点（定点），其余测量点在机器误差的球域范围内进行合理移动以消除噪声点，降低测量误差。最后，基于VC++6.0开发了包含圆度与圆柱度误差测量与评价的多功能综合测量软件和包含控制阵面与骨架运动的高精度阵面测量软件。该软件不仅能满足测量精度的要求，而且人机界面友好。