该课题的研究主要解决以下几个问题,一是研究短波段软X射线在材料原子中的反射机制,以此为基础完善多层膜材料配对理论;二是寻找软X射线短波段新材料配对,使之理论上有比较高的反射率;三是研究测量光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响.通过该课题的研究,我们主要取得以下几项具有创新的研究成果:(1)提出了短波段软X射线在材料原子中的反射理论,以此为基础进一步完善了短波段软X射线多层膜材料配对理论.(2)发现了新的材料配对—Sb/C多层膜在各种入射条件下都比较高的理论反射率.(3)关于测量光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响,我们进行了相当详细的研究并建立比较完整的数学模型.研究结果表明:如果入射光为非单色光,多层膜的设计波长处反射率比单色光获得的反射率低,而多层膜非设计波长处,非单色光获得反射率比单色光获得的反射率高如果测量光能量分辩率相同,长波软X射线多层膜反射率受到的影响相对较小,而短波多层膜反射率受到影响相对较大.即设计波长越短的多层膜,其测量反射率对光的单色性越敏感.对于确定的软X射线多层膜,对入射光能量分辩率有一个极限值要求,低于极限值,多层膜反射光曲线在一定范围内是一条直线,没有反射峰产生.(4)提出了根据测量反射率拟合入射光能量分辨率并以此判断多层膜实际反射率的方法.通过两年的课题研究,在上述领域取得了一些开拓性的研究成果,推动了该课题的向前发展,同时提高了作者的科研水平,扩大了知识面,为以后的工作打下了很好的基础.