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薄膜太阳能电池具有非常明显的低成本优势,TCO薄膜作为薄膜太阳能电池前端电极材料占到电池成本的三分之一,因此开发廉价、性能优异的TCO薄膜对进一步降低薄膜太阳能电池的成本具有非常重要的意义。目前,锡掺杂的氧化铟(ITO)薄膜在TCO薄膜市场中居主要地位,但铟是稀有金属,价格昂贵且有毒,极不利于薄膜太阳能电池的成本控制和环境保护。而铝掺杂的氧化锌薄膜(AZO),由于原料充足、成本低廉、无毒、在氢等离子体中稳定,逐渐成为ITO薄膜的最佳替代者。目前,TCO薄膜已经广泛用于透明导电电极和光电子集成器件,A