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微机械电子系统是人类进入21世纪以来,科学技术的重要的发展方向。微机械谐振器作为微机械电子系统中的核心部件,了解各设计参数对其振动性能的影响成为微机械电子系统研究的关键。本文针对微机械谐振器若干非线性动力学问题,对其压模阻尼特性、非线性静电驱动特性、非线性振动特性等方面进行了研究和探索。首先,研究了MEMS谐振器的能量耗散机制,给出了各耗散机制与MEMS谐振器质量因子的数学关系式。应用雷诺方程,给出了不同工况下,微机械谐振器压模阻尼力的计算公式,并指出了各计算公式的适用范围。然后,研究了双端固支梁M