【摘 要】
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透明导电氧化物(TCO)薄膜作为一类重要的功能材料,具有导电性好、在可见光范围内透过率高的特点,在太阳能电池、场效应晶体管等光电器件领域表现出广泛的应用价值。近年来,随着光电子器件的快速发展,以Sn掺In_2O_3(ITO)、Zn O和Sn O_2为代表的TCO已经不能够满足人们的需求。一方面,这类TCO材料存在热不稳定性、化学不稳定性等缺点;另一方面,钙钛矿氧化物结构简单稳定,具有丰富的物理性质
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透明导电氧化物(TCO)薄膜作为一类重要的功能材料,具有导电性好、在可见光范围内透过率高的特点,在太阳能电池、场效应晶体管等光电器件领域表现出广泛的应用价值。近年来,随着光电子器件的快速发展,以Sn掺In_2O_3(ITO)、Zn O和Sn O_2为代表的TCO已经不能够满足人们的需求。一方面,这类TCO材料存在热不稳定性、化学不稳定性等缺点;另一方面,钙钛矿氧化物结构简单稳定,具有丰富的物理性质,如铁电、压电、超导电、光电特性等。全钙钛矿型薄膜器件能够通过外延生长方式有效解决界面问题,使器件的性能
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