基于SiO2薄膜ReRAM的制备及阻变特性研究

来源 :杭州电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:papyevin
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
存储器是各大电子产品的核心部件之一,随着科技的不断进步生活水平的不断提高,人们无疑对电子产品中使用的存储器的性能提出了跟高的要求,比如低功耗、高速度、良好的稳定性等。现今世界各大高校及研究机构都在开展下一代存储器的实验研究活动。最近几年,基于电阻转变现象的非挥发性存储器被广泛研究,这种存储器模型的基本实现原则是利用器件高阻态(HRS)和低阻态(LRS)来存储数字信息“0”和“1”(或者相反),并且这两种存储状态能够实现控制并转变。基于薄膜材料可逆电阻开关效应的电阻式存储器(RRAM)因其具有高速、低压低功耗、结构简单、可高密度集成、较长的数据保存时间和极佳的尺寸缩小性等优势,并且其制备工艺与传统的CMOS工艺兼容,被认为有望成为下一代通用非挥发性存储器。  硅一直以来就作为最重要的半导体材料,而二氧化硅也作重要的绝缘层材料,,广泛应用于各种集成电路的制造工艺中。本课题实验以多晶硅为靶材,氩气和氧气为溅射气体,采用直流反应磁控溅射法制备二氧化硅薄膜,直流反应磁控溅射法可在常温下制备二氧化硅薄膜,且有可控性好,薄膜沉积速率快等特点。  在本课题实验中,我们通过多道实验工序来制备Cu/SiO2/n+-Si/Cu三明治结构的薄膜器件,通过薄膜厚度测试仪、X射线衍射仪(XRD)等薄膜表征方法及I-V测试平台对 SiO2薄膜的生长状况以及它的电阻开关特性进行研究,并讨论了不同的薄膜厚度、溅射气体氧氩比和退火温度等溅射条件对器件阻变特性的影响。然后通过实验测试结果对Cu/SiO2/n+-Si/Cu结构器件的阻变机制进行了简单分析。结果表明,通过直流反应磁控溅射法制备的该器件结构具有良好的电阻转变现象发生,并且 SiO2薄膜器件的阻变特性以及一些关键实验数据与溅射时间、退火温度和制备氧氩比等薄膜制备条件有较大关系,最后我们认为SiO2薄膜器件的阻变机理是通过在SiO2薄膜层中形成一由Cu原子构成的导电细丝来实现的,在外加激励电压的作用下,通过导电细丝断裂与连通实现了高低电阻状态的转变。
其他文献
近年来,大规模集成电路技术以及空间技术的发展非常迅速,电子设备装置的小型化趋势日渐增强。通信技术的发展对带宽需求增加,同时由于设备的小型化,对于空间的利用率要求更高
近年来,绍兴燃气集团党委按照全面从严治党要求,积极探索以推进企业党建为着力点,围绕创建省内一流燃气企业、服务企业中心工作、服务地方经济社会发展,通过典型引路和总结推
本文通过对荣华二采区10
期刊
图像匹配技术是指采用一定的匹配算法在两幅或者多幅图像之间检测并识别相同点的过程,它是计算机视觉中的一项重要研究内容,主要应用于智能监控、遥感图像匹配、航天器的定位导
钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST,0≤x≤1)薄膜介电常数随外加电场变化而非线性变化,在微波调谐器件上有广泛应用前景。本论文主要研究铈(Ce)镁(Mg)交替掺杂BST薄膜调谐性能。在已有交替掺杂的基础上,对铈镁交替掺杂薄膜的不同掺杂浓度、方式、结构等进行研究。用X射线衍射(XRD)分析薄膜相结构和生长取向,扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜表面形貌和截面特征,介电阻抗测试仪测试薄膜介电性能
压电材料是应用材料领域内一种重要的功能材料,自19世界80年代在石英晶体上发现压电效应以来,就得到了全世界学者的广泛关注,并对它进行了深入的研究与开发。它能够实现能量在机械能与电能之间的相互转换,在很多的技术领域都有着重要的应用,如:换能器、传感器、无损检测、生物技术领域等。在电子材料领域,压电材料也占据着相当大的比重。近些年来,压电材料每年在全球的销量也都在呈现着大幅度的增长。传统的压电材料,主
11月27日,大洋彼岸迎来一年中最大的线下商业大促“黑色星期五”。在“双11”重新定义国内网购行为后,这个美国节日正在迅速成为跨境电商培养中国消费者认知度的最佳时机。美
随着新课程改革在我市全面推开,各种新理念、新模式不断渗透到教育教学中,已使我们的课堂教学面貌发生了可喜的变化,初尝了这一改革带来喜悦的同时也遇到了一些问题,下面是我们多
人体肠道菌群自出生起便定植于人体肠道内,从分类学和功能性组合的角度来看,肠道微生物可能与许多复杂的疾病相关。研究表明,2型糖尿病(type 2diabetes,T2D)是一种以胰岛素抵抗和胰岛β细胞的功能减退为主要特征的代谢性疾病,可被遗传、环境等多种因素所影响,同时也与肠道菌群结构与类型的改变密切相关。中药的口服方剂在服用后经过肠道与定植其中的肠道菌群发生作用。本文选取黄连花薹作为研究对象,结合
随着雷达在战争中的广泛应用,雷达系统正朝着小型化和多功能的方向发展。作为相控阵雷达系统最重要的部件之一,延迟线组件进一步的发展有助于实现收发模块中的瞬时技术。延迟