表面粗糙度是指加工表面由较小间距和峰谷所组成的微观几何形状,它是评定零件质量的一个重要参数。科学技术日新月异,对表面粗糙度的在线测量也提出了更高的要求。传统的触针式测量方法已经不适于表面粗糙度的在线测量。　　 基于Beckmann散射模型,以半导体激光器为光源构成远心光路,通过CCD记录粗糙物体表面的散射光场。计算机分析处理得到表面粗糙度特征值Sn,在较大的范围内表面粗糙度Ra和Sn有很好的对应关系。该测量方法结构简单,精度高,速度快,在工件的在线检测方面有很好的发展前景。　　 论文的主要研究内容包括以下几个方面:　　 (1)分析总结了表面粗糙度的参数以及常用的测量方法:分析研究了Beckmann光散射理论模型;　　 (2)基于光散射理论模型设计了一套表面粗糙度测量的系统,并进行了实验分析;　　 (3)对影响测量结果的误差源进行了分析,提出了初步改进方案,并对该测量方法进行了总结和展望。