随着MEMS技术和集成电路的高速发展,微惯性传感器的开发与应用得到了极大地促进。目前在各个领域,微惯性传感器正呈现出商业化、产业化的应用前景。微惯性传感器具有集成化、微型化、低成本、低功耗、稳定性高等诸多优点。但是,目前国内外研制出来的微惯性传感器弹性结构大都采用固态结构,存在着高灵敏度与抗高过载之间的矛盾,这在很大程度上限制了抗高过载加速度计的应用。鉴于此,本文提出了一种水银微电容加速度传感器。并以美国MicroSensor公司生产的一款微小电容的测量芯片MS3110作为主要研究对象,通过它测量运动物体的加速度,进而运用一定的算法(卡尔曼滤波算法)滤除噪声并估计出加速度准确的值。其主要内容有:1.对MS3110的工作原理、一般特性进行详细地论述,对MS3110的应用电路设计及校准进行探讨,并详细地阐述了本课题的实验系统,对MS3110的静态特性和动态特性进行分析和研究;2介绍了水银微电容式加速度计的电路检测和数据采集方案,对加速度传感器进行了单电容和差动电容情况下的精度测试实验与分析;并对微电容水银加速度计进行了测试研究。3介绍一种建立加速度计状态空间模型的方法,并在此基础上,重点阐述标准卡尔曼滤波算法及其应用;并对实验结果进行了分析。