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随着微电子器件小型化低功耗方向的发展,也对作为现代信息技术领域应用广泛的磁电子器件提出了相应的要求,同时电磁性能也要求向高磁导率、高频、宽频和低损耗方向发展。具有尖晶石(AB2O4)结构的NiZn铁氧体,作为一种多元复合金属氧化物烧结体,在磁电子学高频应用领域一直起着重要的作用。因而该材料的频率损耗问题始终是该材料研究中的主题。特别是电子和信息产业对产品的小型化、集成化和模块化要求日益增高的情况下,除了对材料的高磁导率和使用频率宽度上的要求外,在材料制备工艺和器件组合配套方面也提出了新的要求,特别是低温烧结技术方面。因此,开发磁导率高、饱和磁化强度高、截止频率高并能低温烧结的NiZn铁氧体材料,对推动微电子制造业的进一步发展有着重要的意义。本论文工作将纳米技术引入NiZn铁氧体的制备过程,从原料制备方法探索入手,系统研究了纳米晶NiZn铁氧体形成机理,纳米晶合成NiZn铁氧体的烧结机理、结构和性能表征;研究了纳米晶复合NiZn铁氧体的的高频磁特性和损耗特性,为微电子器件小型化、集成化、一体化和制作高频低耗功率器件提供了重要的基础研究资料。本论文共分七章,主要内容为: 第一章综述了当今铁氧体磁性材料的研究进展,以纳米技术在磁性材料研究中的应用为着眼点,分析了目前相关铁氧体的制备工艺;在此基础上,针对传统铁氧体制备工艺的局限,提出了凝胶自燃法制备铁氧体纳米晶与前驱物的新工艺。 第二章系统研究了凝胶自燃法合成纳米晶NiZn铁氧体的过程,制备条件对纳米晶铁氧体合成的影响,纳米晶铁氧体的结构和磁性能表征,提出了凝胶自燃法合成纳米晶NiZ铁氧体的物理机制。 第三、四章提出了纳米晶再次复合的方法,即把纳米晶铁氧体直接造粒、成型和烧结制备成多晶铁氧体的方法,研究了溶胶过程中掺杂制成掺杂纳米晶铁氧体,然后再通过造粒、成型和烧结制备成多晶NiZn铁氧体工艺;研究了不同掺杂种类、不同掺杂量和不同烧结温度的纳米晶复合NiZn铁氧体的显微结构;