碳化硅(SiC)材料由于具有低热膨胀系数、高强度等显著特点,受到了越来越多的重视。但由于其高硬脆性,传统机械方法周期长、成本高,本文提出了一种加工碳化硅反射镜安装面的电火花平动加工方法,研究了材料去除机理,通过工艺即试验研究,验证了该方法的可行性。本文的主要内容如下:1.利用有限元仿真软件ANSYS对电火花平动加工的温度场和流场进行了仿真,探究脉冲宽度、峰值电流以及不同冲液方式对电火花加工温度场和流场的影响规律。仿真结果表明,随着脉冲宽度和峰值电流的增大时,蚀除效率相应提高,表面粗糙度也随之增大;此外,内部冲液的加工稳定性要优于侧面冲液。2.设计了电火花平动加工石墨电极,采用内部冲液和微动进给方式,搭建了电火花平动加工试验系统。3.设计了单因素试验和正交试验,研究了各工艺参数对电火花平动加工材料去除率和表面粗糙度的影响规律,并在大口径(安装面直径1.23米)碳化硅反射镜安装面上进行试验,证明了碳化硅材料大平面的电火花平动加工可行性。