硅基高深宽比结构静电式MEMS电容器制造与性能测试研究

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微小型、长寿命、高可靠、高性能的微能源器件是实现储能系统中信息化、智能化、集成化与微型化的重要发展趋势和共性核心技术之一。然而,当前智能微能源存在的关键问题是智能系统中微小型器件装备的功能越来越强大、体积越来越小,对所需的电源提出了更小体积、更大表面积、更长寿命、更大可靠性、更低成本等要求,特别是微机械加工(MEMS)技术的成功应用,电源体积大、储能密度大、环境适应性差等问题更为凸显。为了解决这些问题,目前许多新的工艺方法和结构设计正得到广泛的研究。基于MEMS技术的微型电容器不仅具备MEMS技术的
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断路器在开断断过程中不可避免地产生电弧,电弧对触头具有一定的烧蚀作用,使得灭弧室内产生金属蒸气,金属蒸气的存在对电弧输运特性产生一定的影响。金属蒸气电弧等离子体输运特性的微观研究,是描述电弧等离子体动态变化的有效途径之一,是研究灭弧室内电场受金属蒸气影响的重要方面。本文采用Eindhoven微观电弧模型,根据等离子体化学组分构成以及热力学平衡条件,建立SF_6混合不同成份金属蒸气电弧微观模型,并基
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永磁直线同步电机(PMLSM),是一种不需要中间转换机构就能将电能直接转化为直线运动机械能的传动装置,具有高精度定位和高加速性等特点,近年来在精密加工、半导体和机器人等领域都获得了广泛应用。受直线电机非线性、强耦合、系统参数变化、并存在附加扰动等因素的影响,直线电机控制难度变大。传统直接推力控制中PI控制以及一般智能控制算法参数调节问题,系统对参数变化和外界扰动的鲁棒性问题都是PMLSM控制系统中
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热声发电技术是一种可靠性高,制作成本低,热源广泛,热效率高以及环保的热发电技术,它是缓解目前能源危机问题及解决环境问题的一种新兴技术。热声发电系统是由热声发动机子系统和直线发电机子系统组成,目前对于应用于热声发电技术的直线发电机的研究在国际上才刚刚起步。本文主要针对热声发电系统高频、小行程的运行要求,提出了一种横向磁通结构的永磁直线发电机,并进行了具体的理论分析,最后通过仿真和实验对所提出的电机进
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现在,环境问题已经成为全球关注的热点,环境污染的日益严重,迫使人们不得不寻找其他类型的能源,我国大力发展可再生能源,各国学者竞相研究风力发电技术。但由于其固有的能量密度低、随机性、间歇性等特点,给对电力系统的安全性、稳定性、电能质量等方面带来很大影响。本文通过混合式储能技术来提高风电对电网的支撑能力以及可调控性,有效弥补了风电的间歇性、波动性缺点,改善风电场输出功率的可控性,提升稳定水平。本文在进
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基于烟囱效应和温室效应的热风发电技术是一种新型的太阳能发电技术,它具有发电成本低、设备简单和易于维护等优点,因此具有广泛的应用价值和前景。本论文从提高热风发电系统的发电效率着手,从数值模拟和实验分析两个方面展开研究。本文利用计算流体力学软件FLUENT对热风发电系统进行数值模拟研究,得到了发电系统内部气流的温度场、压力场和速度场的分布规律。将数值模拟的结果与实验结果进行对比分析,证实了文中对热风发
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