基于喷墨印刷的OTFT制造工艺研究—墨滴铺展分析与模拟

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喷墨印刷是一种精确定量沉积技术,能将各种材料材料沉积在承印物上成膜,在制造业中有广泛的应用前景。传统喷墨印刷打印关注的是视觉效果,而在OTFT方面,我们更多是关注喷墨打印的稳定性、对准精度、细微结构的再现能力、打印墨层表面形态等。OTFT是通过一层一层不同材料的薄膜组合而成,其功能的实现是建立膜层质量的基础上,通过在电极膜层上加上工作电压,控制载流子在半导体层和绝缘层处聚集并传输。均匀一致的膜层、符合要求的膜层厚度和膜层间的良好接触是获得高性能器件的前提。本文探讨了喷墨打印系统各因素对成膜质量的影响,并分析了液滴成膜因素,通过理论分析给出了墨滴铺展半径、膜层厚度和宽度的计算公式,利用Fluent软件模拟了液滴的铺展过程,分析了相关因素的影响。喷墨打印系统包括墨水、打印控制软件、承印物、走纸方式等。其中墨水的打印适性非常重要,包括表面张力、粘度、接触角、颗粒大小等。合适的墨水才能保证喷墨打印的顺利,这是喷墨应用的关键与前提。另外,打印精度与墨滴大小跟打印线条的宽度有关,喷头控制系统与墨滴的打印位置有关,走纸方式与叠印的精度有关,打印控制软件与打印效果有关等。研究表明,墨滴干燥后的形态主要受溶剂挥发速率和接触线固定影响。但是,影响墨滴干燥成膜的直接因素包括溶剂类型、干燥温度、墨滴粘度、基底温度及基底等。本文中通过几个简单的小实验,看出了相关因素对膜层地影响。要想获得点状墨滴或均匀墨层,我们可以使用混合溶剂、基底加温、基底改性等方法。本文中,通过理论分析并得到了液滴铺展半径、膜层厚度和宽度的计算公式。公式表明,液滴铺展半径只与液滴初始半径、接触角有关。而膜层厚度和宽度除了受初始半径和接触角影响外,还受打印精度、浓度的影响。液滴在基底上铺展受液滴粘度、液滴大小、撞击速度、液体性质及基底表面状况等因素的影响。本文中,通过Fluent软件模拟了不同条件下液滴撞击基底的过程,给出了不同情况下液滴表面的变化过程,通过对比分析不同因素对液滴铺展的影响。同时我还给出了液滴铺展过程中各阶段的动压力图、速度图及不同时刻混合相的速度列表,分析液滴在不同时刻的流动趋势。这些均为控制液滴的成型干燥奠定了的一定基础。
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