光学薄膜的抗激光损伤能力,是衡量高能激光系统中光学元件安全使用范围的重要指标。高反射和减反射薄膜元件是高能激光系统中的重要组成部件,为实现理想的激光传输效果,需不断优化膜系设计与制备工艺以满足传输窗口的性能要求。强激光作用于薄膜表面会导致薄膜发生损伤,而不同波长激光诱导薄膜损伤的机理又有所不同。同时,在强激光应用领域,研究者对损伤的研究大都聚焦于规整膜系,而对非规整膜系的研究关注不够。基于此,本论文从与波长密切相关的多个理论角度出发,分析了不同波长对薄膜损伤的影响;以单层膜和非规整薄膜为研究对象,设计并制备了多种单层膜和非规整薄膜,研究了 1064nm和532nm波长对抗激光破坏特性的影响。主要研究结论如下:从与激光波长密切相关的损伤几率、材料吸收、受激辐射和缺陷吸收、能带理论、多光束干涉多个理论层面,研究分析了波长与薄膜损伤的关系。结果表明:随着激光波长的增大,薄膜损伤概率降低,损伤阈值增大,其抗激光损伤能力增强。采用电子束热蒸发技术,在K9玻璃基底上分别镀制了不同厚度单层膜和多层非规整减反射膜、高反射膜。制备了 SiO2、TiO2、HfO2、Ta2O5单层薄膜,并对其厚度进行测量。结果表明:所设计单层膜厚度满足要求。设计并制备了双波段非规整减反射膜和高反射膜,减反射膜以G|HLHL|A为初始膜系,高反射膜以G|（HL）xH|A为初始膜系。其中高折射率材料分别为TiO2、HfO2、Ta2O5,低折射率材料为SiO2。经实验测试,减反射膜在520nm-540nm与1050nm-1080nm平均透射率大于95%,高反射膜平均反射率大于 97%。采用双波长共光路测试系统,以1-on-1激光作用方式,实验测试了不同参数对单层膜激光损伤阈值的影响。研究发现:随着波长趋于长波,单层膜抗激光破坏能力均有不同程度提高;随着薄膜厚度的增加,同一波长下单层膜抗激光损伤能力有所降低。通过对单层膜损伤形貌的研究分析,表明激光诱导损伤具有随机性,损伤形态各不相同,这与单脉冲激光的热效应有关。探究了不同实验参数对多层非规整薄膜激光损伤阈值的影响。研究发现:随着激光波长的减小,非规整薄膜抗激光辐照能力降低;而在同一波长下,高反射膜的损伤阈值普遍高于减反射膜;当波长不同时,同一薄膜在空气-薄膜界面驻波电场强度值越小,其激光防护能力越高。分析多层膜损伤形貌表明:HfO2/SiO2高反射膜激光作用的损伤区域外有单独的圆形损伤斑,其余非规整薄膜仅存在激光直接作用留下的损伤坑。本文对不同激光波长下的单层膜和非规整薄膜损伤阈值进行了测试与分析,讨论了光学薄膜的损伤过程与损伤机理。研究结果对改进薄膜沉积工艺、明确提升薄膜元件激光损伤阈值的方向、延长光学薄膜元件使用寿命,以及激光系统加固与安全有一定的指导意义和重要的实用价值。