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金刚石具有许多优异的力学、电学、热学、声学和光学等性质，在高新技术领域中发挥着重要的作用，也引起了人们的极大重视。直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积法是我们建立的快速沉积高品质金刚石膜的新方法。相对于常规冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式。对于它的工作特性，其他科研工作者已经给出一定的总结，但是对于放电电流这个实验过程中非常容易观察和控制的实验参数，还缺少一个深入的讨论。本论文通过观察实验过程中放电电压、阴极温度、辉光状态等实验因素随放电电流的变化规律以及通