高量程、耐冲击的高g值硅微加速度计在导航、国防、冲击测量等领域具有重要的应用背景。与常规的低量程加速度计不同,高g值加速度计的设计和封装存在许多难题,有必要进行深入的研究。本文在对各种硅微传感器特点进行比较的基础上,结合现有的工艺条件,选择了适用于高冲击环境、有较高抗过载性能的扭摆电容式加速度计作为研究对象。对其工作原理和数学模型进行了阐述和研究。综合考虑了高g值加速度计的功能参数后,设计计算了加速度计的结构尺寸。并且利用有限元的分析方法,对计算得到的高g值加速度计进行了静力学和动力学的仿真,以验证该结构的量程和抗高过载能力。阻尼特性是加速度计的另一项重要指标,本文采用理论分析的方法,通过阻尼孔给加速度计设计了合理的阻尼器。结构确定以后,又考虑了该结构的工艺流程,并绘制版图、投片制造。本文最后又给出了该加速度计微小电容的检测电路,初步搭建了测试平台。