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本文设计了一种上极板非平面对称式双杠杆结构的MEMS可调电容器,并对其进行了详细的结构设计、力学性能分析、电学性能分析、理论推导计算、仿真分析和工艺流程设计;设计了一种顶部电感线圈悬置可动的MEMS可调电感器,并对其进行了详细的结构设计、理论计算分析和工艺流程设计。本文提出了两种新颖的采用可调电感和电容(Tunable Inductor and Capacitor,TIC)的可调谐双频天线,TIC的两级可调谐电路能够相互协调,从而实现可调谐天线在改变天线谐振频率的同时调节天线与馈线的阻抗匹配,相比不可调谐天线,极大的提高了工作带宽。面向5G移动通信,提出了一种新颖的采用TIC方法的可调谐双频倒F天线(Inverted-F Antenna,IFA),简称可调谐双频IFA-TIC天线。两个可调电容(C1和C2)和一个可调电感(L)的调谐范围分别为0.1 pF-1.2 pF、2.2 pF-3.5 pF、2.5 nH-4.5 nH。HFSS仿真结果表明,在|S11|>14 dB下,可调谐双频IFA-TIC天线的两个频率范围分别为2.695 GHz-3.855 GHz和4.35 GHz-5.227 GHz,实现了单根可调谐双频IFA-TIC天线完全覆盖中国5G移动通信的中频段。面向2G/3G/4G移动通信,提出了一种新颖的采用TIC方法的可调谐双频平面倒F天线(Planar Inverted-F Antenna,PIFA),简称可调谐双频PIFA-TIC天线。两个可调电容(C1和C2)和一个可调电感(L)的调谐范围分别为0.1 pF-2.0 pF、12.0pF-20.0 pF、4.6 nH-15.8 nH。在|S11|>14 dB下,可调谐双频PIFA-TIC天线的两个频率范围分别为700 MHz-970 MHz和1690 MHz-2710 MHz,实现了单根可调谐双频PIFA-TIC天线完全覆盖中国2G/3G/4G移动通信频段。本文所提出的可调谐天线有助于减少现有移动通信天线的数量和整体尺寸,从而减少天线对手机空间的占用,可在5G移动通信中发挥重要应用。