合成孔径雷达测量技术是近二十年来发展起来的新型遥感科学技术，其差分干涉模式(DInSAR)与传统地表形变监测相比具有全天候、大范围、高精度等优点，为地表形变监测以及灾害预测等提供了一种空间对地观测新途径。但是由于受到时空间失相干和大气效应等因素的影响，严重制约了DInSAR技术的应用。而近些年发展起来的永久性散射体雷达差分干涉技术(PSInSAR)能够间接克服时间、空间失相关和大气延迟的影响，其通过在时序SAR影像上探测的具有稳定后向散射特性的PS点目标相位信息进行分析，进而获取研究区域的地表形变信息。本文介绍了InSAR技术的基本原理，分析了干涉相位的组成，并进一步阐述了DInSAR形变测量的原理及处理流程，对其误差来源和限制因素进行了分析，并在实验中对龙门山主断裂带沿线使用Envisat-asar数据进行了地表形变的监测，得到了形变结果。此外，在DInSAR的基础上建立了PSInSAR的空间差分相位模型，并进一步探讨了PSInSAR数据处理中的关键技术。考虑到PS点目标稳定的后向散射特性和其回波信号的高信噪比特性，本文研究基于点目标检测的振幅阈值法进行PS点目标的识别，并利用覆盖都江堰市区的39景SAR影像，采用多重阈值法选取了分布较为合理的PS点目标，证实了多重阈值法识别PS点目标的可靠性。通过PS点对都江堰城区的地表沉降进行监测，得到了点形式的地表沉降分布。最后将DInSAR与GPS及水准测量结果进行对比，得出了PSInSAR技术适用于平原地区形变监测的结论。