表面接触特性决定着许多机器的工作特性,尤其是可靠性和安全性,其作用与人类生活环境关系重大,一直是国内外学者的研究热点。由于微悬臂梁末端与基底碰撞时,实际只有少数微凸体接触,所产生的冲击力比静态接触力大好几倍,悬臂结构其余部分的动量导致结构弯曲,储存的弹性能使得梁末端在稳定接触之前,会从基底实际接触点反弹一次或多次,这将加剧所有因冲击造成的破坏性影响,对在后续的接触行为将产生较大影响。本文采用W-M分形函数对工程实际粗糙表面进行表征,通过实测工程材料的表面粗糙度确定对应结构参数尺寸。用ABAQUS软件对微悬臂梁与基底粗糙面间的多次加卸载过程进行建模分析,充分考虑粗糙接触实体材料的弹塑性变形、微悬臂梁的弹性恢复力、界面间的粘着力以及同一粗糙面微凸体之间的相互作用等影响,动态模拟分析了多次加卸载过程中粗糙接触体的接触力、应力、应变、接触面积、能量耗散等的变化情况,并比较了不同加载力和加载速率对各变量的影响。研究结果表明,实际上微悬臂梁与基底粗糙面间的每一次加卸载过程都是一个复杂的多次弹塑性接触-分离的过程,且存在多个冲击区段,每个冲击区还包含了较多次的次生冲击情况,并且每次冲击力较静态接触力大很多,伴随在粗糙体上产生的应力也将很大,初始屈服点位于最高接触凸点的表面下一定深度,随着载荷的加大,屈服点逐渐向表面移动,最大等效应力也不断增大；等效塑性应变沿深度的分布曲线与实验所得分布类似,最大等效塑性应变发生在表面或一定深度的表层,此处也是产生微裂纹的根源。在多次加卸载过程中,接触力与无量纲接触面积均随着循环载荷的不断变化发生剧烈的变化,这与材料所发生的弹塑性变形有直接的关系；塑性耗散能随着加卸载的进程呈现增长的趋势,但是在每个循环过程中的变化都有波动现象,而动能和弹性应变能则在一定数值范围内波动。不同加载速率对各变量的影响比加载力的影响要大。本研究结果为进一步研究类似微机械开关接触特性和提高工作可靠性奠定了定的理论基础。