太赫兹频段是尚未成熟开发的宽广波段,它具有较多的优点:高数据传输率、优秀的方向性、更高的安全性、较低的散射和更高的透射比等。因此,太赫兹技术在通信领域具有较大的应用前景。太赫兹滤波器是太赫兹通信系统的关键部件之一,其性能参数的好坏将直接影响太赫兹通信系统的质量和水平。本文从传统微波滤波器设计理论出发,分析了交叉耦合、并联、多模腔体等三种结构的双通带滤波器;重点分析了尺寸误差对太赫兹滤波器性能影响的灵敏度和加工的可实现性;比较了矩形腔体滤波器方案相对于其它滤波器结构方案的优势;提出了一种膜片耦合并联结构的太赫兹双通带滤波器新结构;先后设计了一只多模腔体结构的太赫兹双通带滤波器和一只膜片耦合并联结构的太赫兹双通带滤波器,并分析了两种滤波器的各自的性能。由于太赫兹滤波器的外形尺寸较小,尺寸的加工误差要求较严,本文采用了更加先进的MEMS加工工艺。考虑到膜片厚度误差相对于膜片陡直度和宽度对滤波器性能影响更大,本文尝试了多种方案解决这一问题,即改变耦合结构、减少膜片个数、增加膜片厚度等方案。通过增加膜片厚度,降低滤波器加工误差的影响。本文设计的太赫兹双通带滤波器,仿真优化后达到的性能为:在235GHz-245GHz、295GHz-305GHz的频带范围内,带内回波损失优于-10dB,在270GHz处的隔离度优于-60dB,满足了设计要求。