【摘 要】
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本论文研究的主要内容包括:1、以TiO2薄膜和Au叉指电极为基础制作MSM(金属-半导体-金属)结构的光伏型紫外探测器;2、以Au-TiO2-Au紫外探测器为基础,设计外围电路,搭建对紫外
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本论文研究的主要内容包括:1、以TiO2薄膜和Au叉指电极为基础制作MSM(金属-半导体-金属)结构的光伏型紫外探测器;2、以Au-TiO2-Au紫外探测器为基础,设计外围电路,搭建对紫外线强度进行检测和显示的相应电路系统,最终完成紫外线强度测试仪的制作。首先,我们简要介绍了紫外线强度探测仪器的国内外研究现状,并对光伏型紫外线探测器的工作原理与性能参数指标做了详细的分析与讨论;随后介绍了以TiO2薄膜和Au叉指电极为基础制作MSM型紫外线探测器的工作流程;然后对所制作的紫外探测器进行了性能测试,主要是测试其光强-电压特性(P-V特性),也就是检测紫外线探测器在不同光强下所对应的不同的电压值,随后对这些离散的点进行曲线拟合,得到相应的曲线方程;最后根据实际应用需要设计了相应的信号检测与显示电路并完成了系统软件方面的编程与紫外线强度测试仪的制作。本论文的工作重点是围绕后续电路的设计及软件的编程工作展开的,对前级的器件制作也有一定篇幅的介绍。
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