论文部分内容阅读
随着超大规模集成电路(ULSI Ultra Large Scale Integrated Circuit)在新材料、新技术的不断发展与进步,使得半导体产业在工业中占据重要的地位,成为不可忽视的一种产业力量。超大规模集成电路器件集成密度的不断增加,元件尺寸向深微米级别的逐渐降低,线宽的不断减小以及晶体管密度的不断提高,导致导线间电容与层间电容信号,以及导线的电阻不断增加,进而使得导线电阻(R)-电容产生(C)产生的RC信号延迟有所增加,这样不仅会极大限制器件的性能,还会增加器件的损耗,降低器件的使用寿