本文主要对微加速度计的信号检测电路进行了研究,并对电路模块进行了底层的分析和设计。主要研究和完成了以下几个方面的内容;(1)通过对微机电(MEMS)专用设计软件的学习和应用,对叉指式微加速度计机械表头进行了设计和仿真。结合实际情况,确定微加速度计结构参数和工艺文件,利用软件进行二维和三维实体建模。建立了符合实际要求的微加速度计表头模型,仿真微加速度计在各方向下对于外加加速度的响应。(2)采用两种不同的闭环电路结构;双路调制型和模拟开关电容检测电路。完成了系统级的机械-电子总体设计和仿真。(3)利用软件中的金属-氧化物-半导体晶体管虚拟元件库,对系统电路中的单元模块进行了电路级的设计和仿真。完成电路结构中基本模拟电路模块的集成化设计,如;模拟开关、电压/电流基准源、时钟产生和控制电路、运算放大器、比较器及模拟乘法器等关键模块。在设计中综合考虑了工艺参数和环境因素对电路的影响。(4)运用集成电路设计软件cadence对两种电路,在电路级进行了整体功能仿真。完成了电路整体仿真,验证了电路系统和电路模块在功能上的正确性。并对集成电路版图设计进行了初步分析。论文完成了课题预期的各项设计目标,为微加速度计检测电路的芯片设计做出了一定的贡献,同时也为其他类似电路的集成化设计打下了基础。