多级罗茨干式真空泵是一种高速旋转型容积式干式真空泵,其通过转子高速旋转所引起的各级泵腔内的容积变化来实现连续抽气工作。其具有工作压力范围宽、抽速较大、获得真空度高、获得真空环境清洁、结构设计紧凑、起动较快、维护费用低等优点。目前,该种类型的真空泵已经被广泛用于冶金、石油化工、轻工造纸、电工电子以及食品加工等诸多领域之中。本文利用计算流体力学软件cFX对多级罗茨干式真空泵内部流场的流动情况进行了数值模拟,并对其模拟结果进行了后处理分析。首先,本文结合使用CAXA与Solidworks建模软件,依据多级罗茨干泵的结构参数和罗茨转子的转子型线方程,建立了各级泵腔内部及各级连接处流场的三维实体模型。其次,依据模型不同区域对网格特性的要求,对模型分别进行六面体结构化网格与四面体非结构化网格划分。泵腔内动网格的实现是在弹簧近似光滑法思想的基础上,在模拟进行过程中由CFX-Solver时时调用外接FORTRAN程序,实现泵腔内流场的拉伸与调用两种动网格过程。之后,依据实际工作条件设定模型前处理边界条件,并使用CFX-Solver软件对其求解计算,得到稳定收敛的模拟结果。并对模拟结果的准确性和脉动变化情况进行分析。最后,以CFX-Post作为后处理软件,对转子旋转过程中,多级真空泵内流场的流动过程、速度分布以及其变化的规律和原因进行了详细研究分析。此外,本文对工作过程中,各级真空泵内部压力场和温度场的分布与变化情况进行了研究分析,并对各级流场中各物理量的分布、变化情况进行了对比和研究。