【摘 要】
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基于红外探测应用领域的需求的不断推动,碲镉汞(HgCdTe)红外探测技术向着器件小型化和结构复杂化的方向发展。高深宽比微台面芯片的钝化问题是双色、多色等新型HgCdTe红外焦平面探测器都亟需解决的关键难题。原子层沉积(ALD)技术具有独特的自限制生长特点规避了传统钝化技术的阴影效应,可以提高微台面表面的均匀性。本文重点研究HgCdTe微台面芯片的低温原子层沉积钝化技术,具体研究内容如下:1.形成了
【机 构】
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中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所)
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所)
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基于红外探测应用领域的需求的不断推动,碲镉汞(HgCdTe)红外探测技术向着器件小型化和结构复杂化的方向发展。高深宽比微台面芯片的钝化问题是双色、多色等新型HgCdTe红外焦平面探测器都亟需解决的关键难题。原子层沉积(ALD)技术具有独特的自限制生长特点规避了传统钝化技术的阴影效应,可以提高微台面表面的均匀性。本文重点研究HgCdTe微台面芯片的低温原子层沉积钝化技术,具体研究内容如下:1.形成了低温非等离子体辅助的ALD ZnS薄膜制备技术。通过改变生长条件对ZnS薄膜的生长过程进行调节,研究了薄
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