光干涉测量法是最常用的光学平面面形高精度测量方法,该方法的实质是进行比较测量,即利用双光束干涉的方法将待测平面与参考平面作比对,通过分析干涉条纹确定待测面的面形偏差。这种方法的测试精度受到参考面面形精度限制,当待测面的面形精度达到A/20以上时,需要采用绝对检验法,以剔除比较测量法中参考面的面形偏差,进而得到待测面的绝对面形值。本文主要研究共轭差分法在平面面形绝对检验中的应用。共轭差分法衍生自差分法,与差分法的主要差异在于采用了正交双边对称位置测试的方案。虽然该方案将传统差分法的三步测试变成了四步测试,但是共轭差分法提高了待测面的面形斜率逼近的精度,降低了多步测试间的耦合度,进而提高了测试的可靠性。共轭差分法实验得到的是待测面在四个正交双边对称位置与参考面的比对结果,通过将对称位置的比对结果相减能得到待测面在两个正交方向上的面形差分数据。在根据差分数据复原波面的过程中,本文详细研究了几种不同方法——傅里叶变换法、Zernike多项式拟合法、路径积分法、自适应光学中的Hudgin结构斜率法。在实验环节,本论文利用不同复原算法对共轭差分和传统差分测试结果进行了波面复原,并且将复原结果同三面互检法的结果进行比对,得出共轭差分法复原面形与三面互检面形的RMS值相差可达到0.1nm、传统差分法复原面形与三面互检面形的RMS值相差可达到0.2nm,并且共轭差分法的RMS重复性可达到0.2nm。