激光三角法位移检测误差分析及改进

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本课题针对应用激光三角法进行齿轮参数检测时出现的位移测量误差进行分析并提出了改进措施。应用激光位移传感器对齿轮参数进行非接触测量时,测量精度容易受到被测齿面倾斜和粗糙度的影响。因此,如何有效减小倾斜和粗糙度引起的误差是提高激光三角法测量稳定性和精度的关键。本文分析了被测物面倾斜和粗糙度对测量精度的影响,推导了误差关系公式。倾斜和粗糙度产生误差的根本原因是线阵CCD上光斑分布发生了变化。通过研究光斑亚像素中心定位算法,提高光斑中心定位精度,可以减小位移测量误差。本文提出了非线性加权和线性插值联合的重心算法,提高了光斑定位精度,实验证明,该算法具有较好的抗噪性和鲁棒性,能有效校正倾斜误差。通过对被测表面散射光强的分析,提出了减小粗糙度引起的测量误差的方法。
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