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近年来,随着真空技术的飞速发展及相关领域需求的提高,人们开始研制各种类型的能够代替高真空机组工作的高真空直排大气干泵,该泵可以且一部分已经应用于半导体工业、分析仪器、电子工业等各个领域。本文以一具体的高真空直排大气干泵的设计为例,介绍了该泵的结构组成、工作原理,并主要针对其中的旋涡级进行了内部流动特性的研究。另外,由于该泵工作转速较高且为卧式结构,故有必要对该泵的转动系统进行振动特性研究,并进行适当的结构尺寸调整。针对于结构设计部分,这里采用牵引抽气及旋涡抽气相结合的结构,传动部分采