飞秒激光具有极高的峰值强度,精确的损伤阈值,热影响区小,加工精度高等特点,引起国内外研究者的极大兴趣。本文利用飞秒激光加工系统对飞秒激光应用于不同材料表面微结构加工理论进行了初步探讨,并使用波长775nm、脉宽150fs、重复频率1KHz的脉冲激光进行了材料表面烧蚀与切割实验,为飞秒激光用于材料表面微结构加工的研究和不同材料加工工艺参数的确定提供了有重要参考价值的数据。论文的工作主要包括:1.对飞秒激光在物质表面烧蚀和切割工艺的加工机理及其在微结构加工中的应用进行了研究。2.利用CPA-2110i飞秒激光加工系统对硅样品进行了一系列表面烧蚀实验,观测飞秒激光对硅材料表面烧蚀的具体过程。3.对多种材料的切割工艺进行了实验研究,分析了不同激光参数对于切割尺寸及精度的影响。4.利用原子力显微镜、扫描电镜、光学显微镜等对加工的微结构进行了测试,分析了加工中缺陷的产生原因,提出了相应的优化方案。