【摘 要】
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球面的曲率半径是决定透镜光学性能的主要参数之一，在透镜制造过程中保证曲率半径的数值大小是保证质量的关键。在广泛分析了各种球面曲率半径测量方法的基础上，研究了阻尼最小二乘法求解非线性超越方程的原理，建立了由阻尼最小二乘法计算球面曲率半径的数学物理模型，详细分析了初值选取、阻尼因子选取等问题。在实验中用林尼克干涉显微镜、CCD及计算机采集干涉图，将干涉图及标定代入程序得出曲率半径，取得了较好的实验结果
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球面的曲率半径是决定透镜光学性能的主要参数之一，在透镜制造过程中保证曲率半径的数值大小是保证质量的关键。在广泛分析了各种球面曲率半径测量方法的基础上，研究了阻尼最小二乘法求解非线性超越方程的原理，建立了由阻尼最小二乘法计算球面曲率半径的数学物理模型，详细分析了初值选取、阻尼因子选取等问题。在实验中用林尼克干涉显微镜、CCD及计算机采集干涉图，将干涉图及标定代入程序得出曲率半径，取得了较好的实验结果。 PZT移相时的线性好坏对干涉仪采集的移相干涉图的质量有着较大的影响。在
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