由Norikazu SUZUKI,Zhenmin YAN,Rei HINO等人发明的超声波椭圆振动切削技术,应用于目前研究中的单晶锗超精密加工。锗是用于红外光学器件的优异材料,而由于其脆性,锗的超精密微加工是困难的。在单晶锗衬底的(101),(110)和(011)表面上进行微切槽实验,并且如下阐明椭圆振动对延性微加工的基本影响。在(110),(011)和(110)表面的所有晶体取向上,在单晶锗上产生完全无裂缝表面的临界切削深度显着增加,并且在大深度上成功实现了超精密微切槽通过应用椭圆振动切割切割1克。椭圆振动切削的这种改进被认为是由于椭圆振动的每个循环中的瞬时未切削切屑厚度和切削力的减小引起的。当前角变为负值时,晶体取向对临界切削深度的影响变得可以忽略不计,而在0度时则相当大。另一方面,前角对-20至0度之间的临界切削深度的平均值没有相当大的影响。随着椭圆振动切削中切削速度的降低,在所有晶体取向中临界切削深度增加。首先,确定单晶锗的滑移面,因为滑移面的平行度和切削力的方向导致裂缝的形成。裂缝在滑移面上以声速发展并导致碎片。需要找到这样的制度,其中在允许的滑移面方向上没有应力。接下来,确定了最佳的切割参数,包括常规和振动装置。有必要了解使用新技术时指标如何超过以前的指标(使用标准技术)。在此之后,进行了一项研究,以研究工具的弹性凹陷,在振动切割过程中,并将指标与标准切割进行比较。这对于后续用菲涅耳透镜表面处理的实验是必要的。同时,将完成工作以找到最佳刀具几何形状(选择刀具尖端的半径)。比较了两种仪器,半径为1毫米和60毫米。如果粗糙度重合并且没有收到临界磨损,则可以认为有希望使用在顶点处具有大半径的工具。在此部分之后,有一系列批发可以获得符合所有规范的菲涅耳透镜表面。菲涅耳透镜广泛应用于生活的各个领域,也是该技术能够以预定精度在脆性光学材料表面上进行微量元素的极好指标。此外,还制作了加工菲涅耳透镜的研究方法,以确定最佳治疗策略。最后一部分是关于处理这些镜头数据的最有效方案的结论。