随着纳米技术的迅速发展，扫描探针显微镜(SPM)相关技术及其应用已经成为纳米科技的一个重要发展方向。扫描探针显微镜不但可用于微观形貌观察，还可以得到材料的电学、磁学和机械特性等微观信息。为此，发展出了一系列的扫描探针显微镜，如近场光学扫描显微镜(NSOM)、磁力扫描显微镜(MFM)、纳米阻抗显微镜(NIM)、静电力扫描显微镜(EFM)等。基于SPM的电学、光学、磁学性能的测量均已有成功的商业产品；而传统的机械特性测量方法在微观领域的应用则有待深入。　　 微机电系统(MEMS)工艺制备的器件具有极敏感的机械特性。MEMS在传感和振动领域的发展已经相当成熟。MEMS与SPM结合可在微区机械特性测量方面满足微小振动控制和高精度测量的需求。　　 本论文首先对材料微机械特性的测量技术进行了综述，在此基础上提出了基于静电力驱动的微桥测量模型，并利用SPM的纵向高分辨率实现应变测量，采用MEMS技术加工制备了测量用微桥。通过对原有开放式控制系统软硬件的二次开发，分别在扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)上实现了微区机械特性测量功能，并对铬(Cr)桥的共振频率和杨氏模量等进行了测量。最后利用COMSOLMutiphysics有限元分析软件对测量模型进行了仿真分析，并对测量结果的误差进行了分析。