【摘 要】
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该文用脉冲辉光放电方法,通过改变工艺参数,包括沉积时间、气氛、气压、和辉光放电电压等参数,沉积了不同的类金刚石碳(Diamind-likecarbon,orDLC)膜,并对DLC膜的基本性质进
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该文用脉冲辉光放电方法,通过改变工艺参数,包括沉积时间、气氛、气压、和辉光放电电压等参数,沉积了不同的类金刚石碳(Diamind-likecarbon,orDLC)膜,并对DLC膜的基本性质进行了研究.该文用自制的实验设备,实现了对气压、温度的实时测量,对DLC膜的应力实现了动态监测,用称重法测量了DLC膜的沉积速率.用两点法测量了DLC膜的电阻,用HX1000显微硬度计测量了DLC膜的显微硬度,用销一盘式摩擦磨损试验机对DLC膜在实验室环境下的滑动摩擦系数进行了测量,并用激光喇曼光谱分析了不同工艺参数下DLC膜的化学结构.
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