【摘 要】
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本文详细研究了沉积参数如溅射压强、衬底偏压和衬底温度对CrN／Si3N4和Ti／TiN纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响，并通过多层膜在真空炉中不同温度2小时退火和确定温度如
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本文详细研究了沉积参数如溅射压强、衬底偏压和衬底温度对CrN／Si3N4和Ti／TiN纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响，并通过多层膜在真空炉中不同温度2小时退火和确定温度如900℃退火不同时间2-4小时研究其热稳定性。通过XRD对多层膜的微观结构进行了分析，通过XRR对多层膜的周期结构和界面结构进行了分析，利用AFM获得了多层膜的表面粗糙度信息，利用连续刚度法在纳米压痕仪上测量了纳米多层膜的硬度和弹性模量。在CrN／Si3N4纳米多层膜中通过变化Si3N4层的厚度来模拟Cr-Si-N纳米复合膜中的Si3N4界面，探讨Si3N4层厚对多层膜微观结构、热稳定性和硬度的影响；在Ti／TiN纳米多层膜中引入Si3N4间层以改善其热稳定性。
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